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等离子体可以通过多种方式来产生，常见的方法主要包括：热电离法/射线辐照法/光电离法/激波等离子法/激光等离子法/气体放电法等。气体放电是指气体在电场的作用下被击穿引起的导电现象，而低温等离子体的产生方式主要是通过气体放电来实现的。下面主要介绍通过气体放电来产生低温等离子体的各种方式：
1.1.辉光放电：辉光放电属于低压放电，是一种稳定的自持放电，其结构是在封闭的容器中放入两块平行电极板，电子使分子和中性原子激发，粒子会发生从激发态降到基态并伴随着光能量的释放。每种气体都会有其独特的辉光放电颜色。
1.2.电晕放电：电晕放电是指处在不均匀电场中的气体介质发生的局部自持放电。常见的发生方法是在曲率半径小的电极上外加高电压，这样靠近电极的电场强度非常大，极易产生气体电离和电子发射，形成电晕。
1.3.介质阻挡放电：介质阻挡放电是指绝缘介质处于放电空间中产生的一种非平衡态的气体放电现象，故又称无声放电或者介质阻挡电晕放电。绝缘介质所起的作用是防止产生电弧放电或者火花放电。介质阻挡放电具有大空间内放电均匀和高气压运行稳定的特点。电极没有直接和放电气体有接触，因而避免了电极受腐烛的问题。此外，介质阻挡放电的电子密度非常高，常压下即可生成大体积的低温。介质阻挡放电综合了以上各方面的优点，不但能在正常气压下产生低温等离子体，而且密度很高，可操作性好。介质阻挡放电可以在很宽的电压/频率和气压范围内产生等离子体，可以产生足够多的等离子体来完成净化。
通过以上的说明，可以发现：辉光放电的优点是能产生大体积强激发的低温等离子体，缺点是必须保持很低的气压;电晕放电可以在正常的气压下产生等离子体，但是密度较低，不适用于工业应用;介质阻挡放电综合了以上几种方法的优点，不但能在正常气压下产生低温等离子体，而且密度很高。
此外，介质阻挡放电还具有以下几个方面的优点：
1.3.1.能量利用率高：正常工作后，介质阻挡放电装置的等离子体区域会形成很多半径约0.1毫米的微放电通道，以此能量可以多处分布，提高利用效率。
1.3.2.控制性好：在试验和实际应用过程中，可以通过调节电极的形状/放电的频率/放电的电压/温度等轻松地完成对等离子体装置的控制。
1.3.3.可操作性能高：介质阻挡可以在很宽的电压/频率和气压范围内放电产生等离子体，可以产生足够多的等离子体来完成净化。
综合以上几个方面的考虑，用介质阻挡放电产生等离子体来完成大气污染物的处理可行性最高，适用性最强.
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