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针对压电陶瓷驱动存在的上述问题，本文通过分析电压型驱动器原理及电路参数，提出了一种基于反馈零点补偿和噪声增益补偿技术的混合型补偿方法。利用该技术对压电陶瓷驱动放大模块进行补偿后，有效地提高了驱动模块的频带带宽及动态性能。
针对压电陶瓷驱动电源在动态应用中需要利用各种动态波形作为输入信号的要求，设计了一种基于FPGA的直接数字频率合成(DDS)波形发生系统。为便于驱动电源的集成化，本文结合所设计的驱动器及AVR单片机建立了完整的压电陶瓷微定位控制系统。
最后，结合压电陶瓷微动工作台，建立了纳米级定位实验系统。通过理论研究和实验验证可知，本文的研究工作对提高压电陶瓷微驱动系统的性能，进一步扩展压电陶瓷在动态性能要求较高的微驱动领域中的研究具有重要的理论意义和实际应用价值。
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