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低温多晶硅（Low Temperature Poly-silicon；LTPS，以下以 LTPS 代称）是平板显示器领域中的又一新技术。继非晶硅（Amorphous-Silicon，以下以 a-Si 代称）之后的下一代技术。
传统的非晶硅材料（a-Si）的电子迁移率只有0.5 cm2/V.S，而低温多晶硅材料（LTPS）的电子迁移率可达50～200 cm2/V.S，因此与传统的非晶硅薄膜电晶体液晶显示器（a-Si TFT-LCD）相比，低温多晶硅 TFT-LCD 具有更高解析度、反应速度快、亮度高（开口率 apertureratio 高）等优点，同时可以将周边驱动电路同时制作在玻璃基板上，达到在玻璃上集成系统（SOG）的目标，所以能够节省空间和成本此外，LTPS 技术又是发展主动式有机电致发光（AM-OLED）的技术平台，因此 LTPS 技术的发展受到了广泛的重视。
一般情况下低温多晶硅的制程温度应低于摄氏 600℃，尤其对 LTPS 区别于 a-Si 制造的制造程序“激光退火”（laser anneal）要求更是如此。与 a-Si 相比， LTPS 的电子移动速度要比 a-Si 快100 倍，这个特点可以解释两个问题：首先，每个 LTPS PANEL 都比 a-Si PANEL 反应速度快；其次，LTPS PANEL 外观尺寸都比 a-Si PANEL 小。下面是 LTPS 与 a-Si 相比所持有的显著优点： 1、把驱动 IC 的外围电路集成到面板基板上的可行性更强； 2、反应速度更快，外观尺寸更小，联结和组件更少； 3、面板系统设计更简单； 4、面板的稳定性更强； 5、解析度更高，
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