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TFT基本架构及原理
TFT ON / OFF TFT ON / OFF假想示意图
GE 信号OFF时Source和Drain是一断路状态 电流无法流通使 pixel充电GEG-SiNxa-SiSourceDrain电流GE 信号ON时Source和Drain是一通路状态电流由Drain经a-Si流向Source使pixel充电E ach bl ade Hyper-shot前后都有石英玻璃，前板的玻璃，内侧镀有Cr，为防止part icle掉在pat tern上，另一侧都有保护玻璃，镀Cr理由在于其低反射率(Stepper内部，避免光到处乱反射，因此都是采用深色高吸光率的涂料)。光路径是固定不变的，当采用Normal或Hyper-shot的方式时，前板、后板便移动到光路径上交错去define出所要曝光的区域。在前板的上方、后板的下方采渐层的coating，宽度大约4.0 mm (投影在Stage约5mm)，Hoper-shot关键在于此渐层coating(控制y轴的overlap)以及blade左、右移动速度的control(控制x轴的overlap)，此渐层coating以及等速度的控制可以让光有intensity变化。
shot的repeat的动作时，因为担心shot的接合处不佳，因此设计上会让shot在接合处overlap 2um,在接缝处让能量产生渐进式的变化,来达成无缝的效果
使用Hyper-shot去曝overlap的区域，在y轴是采用渐层coating，而x轴则是控制速度。
Hyper-shot mode下，移动blade的传动轴以x轴最为频繁，所以在做Hyper-shot保养时x轴大约1个月保养1次，y轴则是大约半年做一次。
TFT ON / OFF TFT ON / OFF假想示意图
GE 信号OFF时Source和Drain是一断路状态 电流无法流通使 pixel充电GEG-SiNxa-SiSourceDrain电流GE 信号ON时Source和Drain是一通路状态电流由Drain经a-Si流向Source使pixel充电E ach bl ade Hyper-shot前后都有石英玻璃，前板的玻璃，内侧镀有Cr，为防止part icle掉在pat tern上，另一侧都有保护玻璃，镀Cr理由在于其低反射率(Stepper内部，避免光到处乱反射，因此都是采用深色高吸光率的涂料)。光路径是固定不变的，当采用Normal或Hyper-shot的方式时，前板、后板便移动到光路径上交错去define出所要曝光的区域。在前板的上方、后板的下方采渐层的coating，宽度大约4.0 mm (投影在Stage约5mm)，Hoper-shot关键在于此渐层coating(控制y轴的overlap)以及blade左、右移动速度的control(控制x轴的overlap)，此渐层coating以及等速度的控制可以让光有intensity变化。
shot的repeat的动作时，因为担心shot的接合处不佳，因此设计上会让shot在接合处overlap 2um,在接缝处让能量产生渐进式的变化,来达成无缝的效果
使用Hyper-shot去曝overlap的区域，在y轴是采用渐层coating，而x轴则是控制速度。
Hyper-shot mode下，移动blade的传动轴以x轴最为频繁，所以在做Hyper-shot保养时x轴大约1个月保养1次，y轴则是大约半年做一次。
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